我国自主光刻技术的现状与发展，探寻本土光刻机之路

我国正在积极探索自主光刻技术的现状与发展，目前已有自己的光刻机。虽然与国际先进水平相比，我国在光刻技术方面还存在一定差距，但国内企业不断投入研发，取得了一系列重要进展。随着技术的不断进步，我国自主光刻机的性能不断提升...

阅读全文 苏雪痕 3353 次浏览 2024-11-27 新闻中心